半导体适用产品


1、RTP(快速退火炉):红外加热灯是RTP的核心加热元件。
2、EPI(外延设备):红外加热灯是EPI的核心温控组件,红外加热灯可用于快速升温和精确控温,保障外延层高质量生长。
3、CVD:红外加热灯在这里主要用于提供快速、均匀的加热,保障反应气体在基片表面正确分解和沉积。
4、湿法刻蚀:湿法刻蚀过程中,温度会影响反应速率和刻蚀均匀性,红外加热灯可能用于精确控制溶液或基板的温度。
5、清洗热水机:红外加热灯为清洗热水机提供高效精准加热,加速水垢分解与清洁效果,非接触加热避免电极腐蚀,延长设备寿命。
6、清洗酸加热:红外加热灯加速酸液反应,提升清洗效率与均匀性。